PENGUKURAN PARTIKEL DI CLEANROOM TFME POLITEKNIK NEGERI BATAM MENGGUNAKAN STANDAR ISO 14644-1
DOI:
https://doi.org/10.30871/ji.v12i2.2476Kata Kunci:
Cleanroom, IC, partikel.Abstrak
Teknologi dunia elektronika pada saat ini berkembang dengan sangat pesat. Kemampuan komputasi yang terus meningkat diiringi dengan semakin berkurangnya ukuran komponen elektronika yang digunakan pada sebuah chip atau IC (Integrated Circuit). Ukuran komponen yang telah mencapai nanometer menyebabkan komponen sangat sensitif terhadap pengotor dalam bentuk partikel. Tempat fabrikasi khusus dalam bentuk cleanroom diperlukan agar jumlah partikel pengotor dapat dikontrol dan kerusakan akibat partikel pengotor pada produk dapat dikurangi. Salah satu standar yang digunakan untuk mengklasifikasi cleanroom dan mengukur partikel di dalamnya adalah ISO 14644-1. Pada penelitian ini dilakukan pengukuran pertikel sesuai dengan standar ISO 14644-1 untuk mengukur jumlah partikel di dalam cleanroom TFME. Hasil pengukuran mengklasifikasikan cleanroom di TFME sesuai dengan ISO Class 7 yang berarti sistem penyaringan partikel masih bekerja dengan baik.
Unduhan
Referensi
G. Jeevanandam, V. van der Meijden, L. D. Birnie, P. Kruit, and C. W. Hagen, "'Cleanroom' in SEM," Microelectron. Eng., vol. 224, p. 111239, Mar. 2020, doi: 10.1016/j.mee.2020.111239.
L. Zhou, W. Sun, C. Huang, H. Li, Z. Zou, and C. Wu, "Studies on Comparison of Particle Concentration Models for Cleanroom," Procedia Eng., vol. 205, pp. 3308"“3315, Jan. 2017, doi: 10.1016/j.proeng.2017.10.343.
X. Shao, K. Hashimoto, L. Fang, A. K. Melikov, K. G. Naydenov, and C. Rasmuseen, "Experimental study of airborne particle transmission through the doorway of a cleanroom due to the movement of a person," Build. Environ., vol. 183, p. 107205, Oct. 2020, doi: 10.1016/j.buildenv.2020.107205.
T. Sandle, "Chapter 5 - Cleanrooms and Environmental Monitoring," in Biocontamination Control for Pharmaceuticals and Healthcare, T. Sandle, Ed. Academic Press, 2019, pp. 65"“82.
"(PDF) Chapter1 Clean Room Technology," ResearchGate. https://www.researchgate.net/publication/337561543_Chapter1_Clean_Room_Technology (accessed Sep. 10, 2020).
"(PDF) ISO 14644 - Revised Cleanroom Standard," ResearchGate. https://www.researchgate.net/publication/292984427_ISO_14644_-_Revised_Cleanroom_Standard (accessed Sep. 11, 2020).
W. White, ʻʻCleanroom Technology:Fundamental of Design, Testing and Operation, ʼʼ John Wiley & Sons,2001
Z.Xu, ʻʻFundamental of Cleaning Technology and Its Application in Cleanroom, ʼʼ Springer, 2014
Unduhan
Diterbitkan
Terbitan
Bagian
Lisensi
Hak Cipta (c) 2020 JURNAL INTEGRASI
Artikel ini berlisensiCreative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.
